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用户定制或特殊应用

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    传真:86-029-8868 8683
    E-mail:Sales@geaideshuzhi.com

    ECA

    功率(W):15
    最大输出电压(KV):7.5

    简介:

    特点和优势

    通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测

    放大器架构设计的快速响应(“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。)

    各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制(选项)”和“中心抽头电压设置(选项)”

    配备LAN、USB、RS-232C数字接口

    内置低通射频滤波器 (13.56 MHz)


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产品介绍


E C.png

      ECA系列是用于静电吸盘(E-Chuck,ESC)的高压放大器。除了极性切换和强制接地外,该系列还提供晶圆监控系统以满足晶圆检测需求。此外,凭借广泛的电压范围,该系列可支持库仑和 Johnsen-Rahbek 静电吸盘。

典型应用:

静电驱动的材料处理

半导体晶圆加工

平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械转移

特点和优势:

通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测

放大器架构设计的快速响应(“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。)

各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制(选项)”和“中心抽头电压设置(选项)”

配备LAN、USB、RS-232C数字接口

内置低通射频滤波器 (13.56 MHz)

输出电压设定特性:

2.jpg

波形示例:

1.png

可选CT

中心抽头偏置

0至±[最大速率电压-电压设定值]

可选ET

以太网CAT接口

[即将推出]

可选DS

双通道独立控制

可选AC

AC 100V 至 240V 1 φ输入

可选L7

输出高压电缆 7 米 x 3

(选择 CT 或 DS 时为 2 个)