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用户定制或特殊应用
ECA
功率(W):15
最大输出电压(KV):7.5
特点和优势
通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测
放大器架构设计的快速响应(“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。)
各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制(选项)”和“中心抽头电压设置(选项)”
配备LAN、USB、RS-232C数字接口
内置低通射频滤波器 (13.56 MHz)
产品介绍
ECA系列是用于静电吸盘(E-Chuck,ESC)的高压放大器。除了极性切换和强制接地外,该系列还提供晶圆监控系统以满足晶圆检测需求。此外,凭借广泛的电压范围,该系列可支持库仑和 Johnsen-Rahbek 静电吸盘。
典型应用:
静电驱动的材料处理
半导体晶圆加工
平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械转移
特点和优势:
通过晶圆传感器进行可靠性夹持/释放状态检测
放大器架构设计的快速响应(“无继电器极性反转”设计的高可靠性和长寿命。)
各种卡盘/释放操作的“双通道独立控制(选项)”和“中心抽头电压设置(选项)”
配备LAN、USB、RS-232C数字接口
内置低通射频滤波器 (13.56 MHz)
输出电压设定特性:
波形示例:
可选CT
中心抽头偏置
0至±[最大速率电压-电压设定值]
可选ET
以太网CAT接口
[即将推出]
可选DS
双通道独立控制
可选AC
AC 100V 至 240V 1 φ输入
可选L7
输出高压电缆 7 米 x 3
(选择 CT 或 DS 时为 2 个)